關(guān)鍵詞 |
光刻膠 |
面向地區(qū) |
規(guī)格 |
其它 |
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結(jié)構(gòu)型式 |
分立式 |
顯示方式 |
指針式 |
| 類型 | 光刻膠型號(hào) | 適用光譜 | 厚度范圍/um | 分辨率 | 適用工藝 |
紫外光刻膠-薄膠 | S1800系列 | g-Line, | 0.5-3.5 | 0.5um | 正性光刻膠，穩(wěn)定性好；適用于分辨率要求較高的光刻工藝 |
AZ5214 | g/h/i-Line | 1-2um | 0.5um | 反轉(zhuǎn)膠 | |
BCI-3511 | i-Line | 0.5-2 | 0.5um | 正性i線光刻膠，適用于各類接觸式光刻機(jī)（mask aligner）、stepper | |
SPR 955 | i-Line | 0.5-3.5 | 0.35um | 正性i線光刻膠，適用于分辨率要求較高的濕法腐蝕和干法刻蝕 | |
AZ 1500 | g/h/i-Line | 0.5-5 | 1um | 正性光刻膠，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造 |
————— 認(rèn)證資質(zhì) —————
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