TMC地面式主動隔振平臺SEM-Base VI

SEM-Base?VI

用于SEM的主動式壓電陶瓷振動

消除地面式平臺

優勢:

l 硬式裝載技術

SEM-Base VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統， 從 0.6Hz 開始主動強力消減地面低頻振動。

l 主動慣性振動消除

SEM-Base VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。

l 串行設計與壓電技術

特串行設計加上高強度壓電專利技術，SEM-Base VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬，更實現了的慣性主動振動消除，2Hz以上的振動衰減可達90%以上。

l 完全集成式的單平臺設計

SEM-Base Vi設計與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了，簡單的定位與設置之后即可正常工作。

注: 可選SEM-Closure，設計用于保護SEMs的完整環境解決方案。在SEM-Closure密封隔音室內可兼容放置SEM-Base VI與Mag-NetX，保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響。

特點：

l STACIS專利技術

l 主動慣性振動消除系統

l 895×1124×160 mm（35.25×44.25×6.3 in.）適合絕大多數商業SEMs

l 負載能力：408-1134 kg（900-2500 lb.）     

l 隔振效率1Hz：40-70%

隔振效率2Hz：90%

隔振效率>3Hz：90-98%

l 6個主動自由度

l 安裝容易，調諧簡單

l 兼容所有設備內置的振動隔離系統

l 電源：100-240VAC，50/60Hz，<600W

l 是否需要空氣：非氣浮系統

l CE與RoHS認證

l 完全集成式的單平臺設計

l 可安裝腳輪，輕松便攜移動，無需搬運

l 兼容SEM-Lift系統

概述：

EM-Base VI是TMC STACIS主動壓電振動消除產品系列的新一代產品。SEM-Base VI設計用于承載所有商業掃描電子顯微鏡（SEMs）、多數聚焦離子束顯微鏡（FIB）及小型雙光束設備。SEM-Base VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更強勁的控制器，帶有圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現能夠滿足其關鍵設備所要求的地面振動水平。

SEM-Base VI采用特串聯結構，振動傳感器測量的是地面振動，不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器，在測量亞Hz振動時具有的敏感度。加上TMC特的壓電致動技術，SEM-Base VI即使在振動情況已經很好的地面上也可以實現水平的振動消除。

相比于之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式雙核處理器，為設備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面，可以快速進入系統并實現平和的操作心態。當通過Ethernet連接時，DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現SEM-Base圖形用戶界面，無需額外安裝軟件或者應用程序。當然用戶也可以通過控制器的板載式菜單驅動液晶屏（LCD）直接進行控制。

應用案例：

STACIS? ix SEM-Base 為如下SEM/FIB提供振動消除。FEI Helios NanoLab DualBeam SEM/FIB(左上)、 JEOL JSM-6700F掃描電鏡(右上)，日立S-3400N SEM(左下)、Field Emission掃描電子顯微鏡(右下)