兩英寸高低溫探針臺
產(chǎn)品別名 |
高低溫探針臺,高真空探針臺,探針臺,真空等離子探針臺 |
面向地區(qū) |
全國 |
品牌 |
鄭科探 |
類型 |
高低溫探針臺 |
真空等離子探針臺 產(chǎn)品用途：探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
高低溫探針臺 該探針臺的承載臺為60＊60不銹鋼臺面，臺面高可升溫到高400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需要檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。
真空探針臺的技術(shù)參數(shù)：
真空腔體
腔體材質(zhì) 304不銹鋼
上蓋開啟 鉸鏈側(cè)開
加熱臺材質(zhì) 304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸 φ160x90mm
觀察窗尺寸 Φ70mm
加熱臺尺寸 φ60mm
觀察窗熱臺間距 75mm
加熱臺溫度 ﹣196~350℃
加熱臺溫控誤差 ±1℃
真空度 機(jī)械泵≤10Pa ? 分子泵≤10-3Pa
允許正壓 ≤0.1MPa
真空抽氣口 KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口 3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭 SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ ? 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量 4探針
探針材質(zhì) 鎢針 ?
探針尖 10μm
探針移動平臺
X軸移動行程 30mm ? ?±15mm
X軸控制精度 ≤0.01mm
Y軸移動行程 13mm ? ?±12.5mm
Y軸控制精度 ≤0.01mm
Z軸移動行程 13mm ? ?±12.5mm
Z軸控制精度 ≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別 物鏡
物鏡倍數(shù) 0.7-4.5倍
工作間距 90mm
相機(jī) sony 高清
像素 1920※1080像素
圖像接口 VGA
LED可調(diào)光源 有
顯示屏 8寸
放大倍數(shù) 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm
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