2L腔體等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品別名 |
等離子清洗機(jī),石英腔等離子清洗機(jī),等離子刻蝕機(jī),等離子去膠機(jī) |
面向地區(qū) |
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品牌 |
鄭科探 |
類型 |
石英腔2L等離子清洗機(jī) |
等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
在真空腔體里，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗目的．
等離子刻蝕機(jī)表面活化處理KT-S2DQX
供電電源 AC220V（AC110V可選)
工作電流 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率 150W
射頻頻率 13.56MHz
頻率偏移量 ＜0.2MHz
特性阻抗 50歐姆，手動(dòng)匹配
耦合方式 電容耦合
真空度 ≤100Pa
腔體材質(zhì) 高純石英
腔體容積 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
觀察窗內(nèi)徑 Φ65
氣體流量 10—100ml/min（其他量程可選）
過(guò)程控制 過(guò)程手動(dòng)控制
清洗時(shí)間 手動(dòng)開(kāi)關(guān)
開(kāi)蓋方式 鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭
外形尺寸 400x380x360mm
重量 23Kg
真空室溫度 小于65°C
冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
標(biāo)配 KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說(shuō)明書一本。
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