AIGX離子真空計(jì)

Edwards  AIGX緊湊型離子真空計(jì)配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的新型 AIGX 真空計(jì)具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測量概念的所有優(yōu)勢，同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。

AIGX離子真空計(jì)擁有脫氣裝置，而且具備保護(hù)和延長燈絲使用壽命的功能。得益于極低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程明智的選擇。

特點(diǎn)

寬范圍測量功能，可達(dá) 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。

有兩種款型可用，每一種又有三種真空聯(lián)軸器變型：

“D”型具有 9 針“D”接頭盒標(biāo)準(zhǔn)接口；

“S”型具有增強(qiáng)的功能，與 Edwards 的各種控制器兼容。

與主要競爭對(duì)手相比，帶電粒子制程污染減少了 30%。

自動(dòng)防止在大氣條件下啟動(dòng)燈絲以及在高壓下運(yùn)行或脫氣。

在整個(gè)測量范圍內(nèi)真空計(jì)靈敏度始終保持穩(wěn)定，從而可以在更高壓力下保持輸出精度。

在脫氣過程中可以連續(xù)進(jìn)行壓力測量輸出。

創(chuàng)新性設(shè)計(jì)消除了 X 射線限制的影響。

雙色 LED 提供真空計(jì)狀態(tài)的本地指示。

輸入電壓范圍寬。

電子器件極易拆卸以進(jìn)行高達(dá) 200 °C 的加熱。

“S”型提供有無縫的自動(dòng)發(fā)射電流切換，延長了燈絲壽命。

“S”型提供有診斷輸出，指示“發(fā)射關(guān)閉”、“燈絲燒壞”和“過壓跳閘”，以幫助進(jìn)行故障排除。

“S”型提供有一個(gè)可以用按鈕調(diào)整的設(shè)。

應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

Edwards  AIGX緊湊型離子真空計(jì)配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的新型 AIGX 真空計(jì)具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測量概念的所有優(yōu)勢，同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。該真空計(jì)擁有脫氣裝置，而且具備保護(hù)和延長燈絲使用壽命的功能。得益于非常低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程的選擇。

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