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皮拉尼真空計 |
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CDG100D加熱型電容膜片真空計
INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現總壓測量與控制的理想之選。CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質，成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
特點
擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設
輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移
診斷端口便于快速服務與維護
兩年保修服務，的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩定性和可重復性，即使是非常嚴苛的等離子應用，都無需長期執行重新校準
合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
應用
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
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