MEMS光開關是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產生轉動，從而改變輸入光的傳播方向以實現光路通斷的功能。MEMS光開關切換光波路由是通過外部控制信息以及相應的高低電平控制內部微鏡片抬升與否來完成的。
MEMS光開關可應用于哪些領域
MEMS光開關及其陣列在現有光通信中的應用范圍很廣。其應用范圍主要有：光網絡的保護倒換系統，光纖測試中的光源控制、網絡性能的實時系統、光器件的測試、構建OXC設備的交換核心，光插/分復用、光學測試、光傳感系統等。
光開關是一種多端口光器件，端口配置情況有：2×2，1×N，N×N，其中N×N端口光開關又稱OXC（光交叉連接開關、矩陣光開關）。基于MEMS技術的1×N端口光開關，其結構如圖所示，它包括一個MEMS微鏡、一個準直透鏡和一個多纖插針。MEMS微鏡通常貼裝在一個TO管座上，然后通過TO管帽將準直透鏡與TO管座組裝成一個組件，在有源調試狀態下，將多纖插針與前述組件對準并固定在一起。
可應用于MCS（多播交換光開關）
基于PLC技術及MEMS技術的多播交換光開關（MCS），是下一代可重構光分插復用系統（ROADM）的關鍵組成部分；每個功能單元由M個立的Splitter和N個立的MEMS光開關組成；提供N個上路（或下路）端口至M個方向的連接。
MEMS光開關是 基 于 微 機 電 系 統（micro-electro-mechanical system），采用光學微鏡或光學魏鏡陣列來改變光束的傳播方向實現光路的切換。MEMS光開關原理十分簡單，當進行光交換時，通過靜電力或磁電力的驅動，移動或改變MEMS微鏡的角度，把輸入光切換到光開關的不同輸出端以實現光路的切換及通斷。
機械光開關的工作原理是借助機械裝置物理地移動光纖來重定向光信號。通過移動棱鏡或定向耦合器，將輸入端的光導向所需要輸出的端口。機械式光開關分主要有3種類型：一是采用棱鏡切換光路技術，二是采用反射鏡切換技術，三是通過移動光纖切換光路。
