MEMS光開關是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產生轉動，從而改變輸入光的傳播方向以實現光路通斷的功能。MEMS光開關切換光波路由是通過外部控制信息以及相應的高低電平控制內部微鏡片抬升與否來完成的。
MEMS光開關可實現對全光網的遠程控制，具有可集成化、功耗低、成本低的主要優勢。MEMS光開關同時具備了機械式光開關的低插損、低串擾、低偏振敏感性、高消光比和波導開關的高開關速度、小體積、易于大規模集成的優點。各項性能足以滿足DWDM全光網絡的技術要求，將會是大容量交換光網絡開關發展的主流方向。 MEMS器件單批產量高，經濟性好，且器件與器件之間重復性好，為降低系統成本提供了更多的可能性。
MEMS光開關是 基 于 微 機 電 系 統（micro-electro-mechanical system），采用光學微鏡或光學魏鏡陣列來改變光束的傳播方向實現光路的切換。MEMS光開關原理十分簡單，當進行光交換時，通過靜電力或磁電力的驅動，移動或改變MEMS微鏡的角度，把輸入光切換到光開關的不同輸出端以實現光路的切換及通斷。
可應用于MCS（多播交換光開關）
基于PLC技術及MEMS技術的多播交換光開關（MCS），是下一代可重構光分插復用系統（ROADM）的關鍵組成部分；每個功能單元由M個立的Splitter和N個立的MEMS光開關組成；提供N個上路（或下路）端口至M個方向的連接。
光開關是一種多端口光器件，端口配置情況有：2×2，1×N，N×N，其中N×N端口光開關又稱OXC（光交叉連接開關、矩陣光開關）。基于MEMS技術的1×N端口光開關，其結構如圖所示，它包括一個MEMS微鏡、一個準直透鏡和一個多纖插針。MEMS微鏡通常貼裝在一個TO管座上，然后通過TO管帽將準直透鏡與TO管座組裝成一個組件，在有源調試狀態下，將多纖插針與前述組件對準并固定在一起。
而其中光開關是全光交換中的關鍵器件，可實現在全光層的路由選擇、波長選擇、光交叉連接以及自愈保護等功能。
