X熒光光譜儀是利用XRF技術解決國內水泥廠、鋼鐵公司對復雜成份、多類型櫚中元素的快速、準確分析。該技術的主要特征為：利用低能X光激發待測元素，對Si、S、AI、Na、Mg等輕元素有良好的激發效果，并且測試時間短，大大提高了檢測效率和工作效率； 采用UHRD探測器，具有良好的能量線性和能量分辨率，及良好的能譜特性，較高的峰背比； 采用自動穩譜裝置，了儀器工作的一致性； 利用解譜技術使譜峰分解，使采用UHRD探測器的分析儀對Si、S、AI等輕元素的測試具有和的分析精度；采用相似自動分類技術使分類更準確，有效地克服基效應對測量帶來的影響；采用多參數的線性回歸方法，使元素間的吸收、增強效應得到明顯的消除。

x熒光光譜儀由激發源和探測系統構成，可以產生X熒光來檢測各元素的特征X射線的強度，從而測定元素含量。臺式X熒光光譜儀的正確操作方法如下：
1、儀器采用X光管產生激發源，因此，在不使用時，儀器會自動將X光管的高壓斷掉，使X光管的電源處理待機狀態。此時，儀器將不會產生任何射線，同時大大X光管的壽命。
2、在放置樣品時，只要開啟防護罩，儀器也自動將X光管停止，不再產生X射線，完全可以保護使用者的人身安全。
3、開啟、關閉儀器蓋子時，應輕開輕放。
4、設備使用的操作人員，要接受安全和操作培訓后，才可上機，以確保設備的安全操作與正確使用。
臺式X熒光光譜儀的操作人員應該養成正確的設備使用習慣，在使用中嚴格按照操作規程來對儀器進行操作。

X熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得多也廣泛。
大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。

X熒光光譜儀分析方法是一個相對分析方法，任何制樣過程和步驟有非常好的重復操作可能性，所以用于制作標準曲線的標準樣品和分析樣品經過同樣的制樣處理過程。X 射線熒光實際上又是一個表面分析方法，激發只發生在試樣的淺表面，注意分析面相對于整個樣品是否有代表性。此外，樣品的平均粒度和粒度分布是否有變化，樣品中是否存在不均勻的多孔狀態等。樣品制備過程由于經過多步驟操作，還防止樣品的損失和沾污。

引起樣品誤差的原因：
（1）樣品物理狀態不同，樣品的顆粒度、密度、光潔度不一樣；樣品的沾污、吸潮，液體樣品的受熱膨脹，揮發、起泡、結晶及沉淀等。
（2）樣品的組分分布不均勻 樣品組分的偏析、礦物效應等。
（3）樣品的組成不一致 引起吸收、增強效應的差異造成的誤差
（4）被測元素化學結合態的改變 樣品氧化，引起元素百分組成的改變；輕元素化學價態不同時，譜峰發生位移或峰形發生變化引起的誤差。
（5）制樣操作 在制樣過程中的稱量造成的誤差，稀釋比不一致，樣品熔融不完全，樣品粉碎混合不均勻，用于合成校準或基準試劑的純度不夠等。
3、樣品種類樣品狀態一般有固體塊狀樣品、粉末樣品和液體樣品等。
（1）固體塊狀樣品 包括黑色金屬、有色金屬、電鍍板、硅片、塑料制品及橡膠制品等，其中金屬材料占了很大的比例。
（2）粉末樣品 包括各種礦產品，水泥及其原材料，金屬冶煉的原材料和副產品如鐵礦石、煤、爐渣等；還有巖石土壤等。
（3）液體樣品 油類產品、水質樣品以及通過化學方法將固體轉換成的溶液等。

X熒光光譜儀分析法中不同樣品有不同的制樣方法。金屬樣品如果大小形狀合適，或者經過簡單的切割達到X 熒光光譜儀分析的要求，只需表面拋光，液體樣品可以直接分析，大氣塵埃通常收集在濾膜上直接進行分析。而粉末樣品的制樣方法就比較復雜。這里只對常見的固體和粉末樣品的制樣方法進行討論，液體樣品就不再討論。
1、固體樣品的主要缺點是，一般情況下不能采用各種添加法：如標準添加（或稀釋）法、低（或高）吸收稀釋法、內標法等。若所有樣品中已經含有適當的、一定濃度的內標元素，則上述的后兩種方法還是可用的。另外，也不能進行化學濃縮和分離。表面結構和成分有時也難取得一致。可能弄不到現成的標樣，而人工合成又很困難。
2、制樣方法，固體樣品可用未加工的或經加工的大塊材料或原材料（如生鐵，鋼錠等）制取。另外，也可把熔爐的熔融物直接澆鑄到小模子里。為防止緩慢冷卻時發生的成分偏析，好用激冷。經拋光的原材料，或經砂輪磨打的表面，一般是令人滿意的，但對后者仍需進一步拋光，以減少表面粗糙度，并除去加工損傷的和沒有代表性的表面層。拋光的方法有許多種，包括：
（1）行帶式磨削，然后用拋光器拋光，其砂紙粒度依次由粗變細
（2）用車床、銑床或刨床進行加工。對于薄板和箔，仔細操作，以表面不出現翹曲、和折痕。特別要注意不能照射時間太長，以免受熱變形。薄板和箔襯上一塊剛性支撐物，或把它們粘在一起。
制備固體樣品時要注意：
（1） 樣品的分析面不能有氣孔，析出物和多孔質現象。
（2） 防止偏析。造成偏析的因素：合金的組成和密度；鑄模的材料、形狀和厚度；合金熔化溫度、澆鑄溫度和被澆鑄樣品的冷卻速度等。