EDX是借助于分析試樣發出的元素特征X射線波長和強度實現的， 根據不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡使用，可以對樣品進行微區成分分析。

利用熒光X射線進行定量分析的時候，大致分為3個方法。一個是制作測量線的方法（經驗系數法）。這個方法是測定幾點實際的已知濃度樣品，尋求想測定元素的熒光X射線強度和濃度之間的關系，以其結果為基礎測定未知樣品取得熒光X射線，從而得到濃度值。
另一個方法是理論演算的基礎參數法（FP法）。這個方法在完全了解樣品的構成和元素種類前提，利用計算的各個熒光X射線強度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的熒光X射線強度的組成一致。

EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）是一種用于分析物質成分的技術，利用X射線的能譜來確定樣品中的元素成分和含量。其原理如下：

1. 激發X射線：EDX光譜儀通過電子束或粒子束激發樣品，使樣品產生X射線。

2. 能量分散：樣品中的元素會發射出不同能量的X射線，這些X射線經過光柵或晶體透射，按照不同的能量進行分離。

3. 探測與計數：分散后的X射線被探測器接收并轉換為電信號，計算機對這些信號進行處理和計數。

4. 能譜圖譜：通過獲取不同能量的X射線的計數率，繪制出樣品的X射線能譜圖譜，來確定樣品中的元素種類和含量。

總的來說，EDX光譜儀利用X射線的能量特性來分析樣品的元素成分和含量，是一種常用的化學分析方法。