常用的EDX探測器是硅滲鋰探測器。當(dāng)特征X射線光子進(jìn)入硅滲鋰探測器后便將硅原子電離，產(chǎn)生若干電子-空穴對，其數(shù)量與光子的能量成正比。利用偏壓收集這些電子空穴對，經(jīng)過一系列轉(zhuǎn)換器以后變成電壓脈沖供給多脈沖高度分析器，并計(jì)數(shù)能譜中每個能帶的脈沖數(shù)。

EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）是一種用于分析物質(zhì)成分的技術(shù)，利用X射線的能譜來確定樣品中的元素成分和含量。其原理如下：

1. 激發(fā)X射線：EDX光譜儀通過電子束或粒子束激發(fā)樣品，使樣品產(chǎn)生X射線。

2. 能量分散：樣品中的元素會發(fā)射出不同能量的X射線，這些X射線經(jīng)過光柵或晶體透射，按照不同的能量進(jìn)行分離。

3. 探測與計(jì)數(shù)：分散后的X射線被探測器接收并轉(zhuǎn)換為電信號，計(jì)算機(jī)對這些信號進(jìn)行處理和計(jì)數(shù)。

4. 能譜圖譜：通過獲取不同能量的X射線的計(jì)數(shù)率，繪制出樣品的X射線能譜圖譜，來確定樣品中的元素種類和含量。

總的來說，EDX光譜儀利用X射線的能量特性來分析樣品的元素成分和含量，是一種常用的化學(xué)分析方法。

EDX是能量色散X射線分析技術(shù)，可以進(jìn)行定性和定量分析。定性分析是通過分析樣品發(fā)射的X射線能譜，確定樣品中不同元素的成分。而定量分析則是根據(jù)X射線能譜中各元素的峰面積或峰強(qiáng)度，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)樣品建立的標(biāo)準(zhǔn)曲線，計(jì)算出各元素的含量。因此，通過EDX可以對樣品中元素的種類和含量進(jìn)行準(zhǔn)確的分析和測定。